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ISO14644-3关于气流流型检测

更新时间:2016-08-18   点击次数:6428次

B.7.3   气流方向检测和目检方法

B.7.3.1  示踪线法

 该检测是观察如丝线、单根尼龙细线、旗子或薄带子。把上述物品放置在支撑杆的端头或装在气流中细金属丝格栅的交叉点上,就可以直接观查出气流的方向和因干扰引起的波动。有效的照明有助于观察和记录显现的气流状况。测量两点之间(例如2 m ~ 0.5 m)的气流偏移来计算偏移角

B.7.3.2  示踪剂注入法

 该检测是对高强度光源照亮的示踪粒子的特性进行观察或制成图像,作为洁净室设施内气流的方向性和均匀性的资料。可以用去离子(DI)水、喷射或化学法生成的乙醇/正二醇等材料生成示踪粒子。要仔细选用适当的材料,以免污染表面。 选用液滴生成法时,要考虑小滴的粒径。小滴要大得图像处理技术能检测出来,但又不能过大而在运动过程中产生重力或其它效应,并偏离被观测的气流。

 B.7.3.3  用图像处理技术进行气流目检法

 用B.7.3.2的方法将记录在摄像机或胶片上的粒子图像资料经过处理后,即可用区域内二维气流速度矢量昭示气流的量化特性。该处理技术需用配有适当接口和软件的数字计算机。用激光光源等装置可以得到较大的空间分辨率。

 B.7.3.4  通过测量速度分布进行气流目检的方法  可以在被勘查的洁净室设施内的几个规定的点上设置风速测量仪,如热风速计或超声风速计,以测定气流速度的分布。对测出的数据进行处理,就可得出气流分布的资料。

 B.7.4    气流方向检测和目检用仪器

  每种检测方法使用不同的气流方向检测、目检的仪器。C.7中给出了每种检测方法适用的仪器。

B.7.5    检测报告   按照客户和建造商的协议,应该按本文件第5条的说明记录下述资料和数据:  a) 检测类型、目检方法和检测条件; b) 所用测量仪器的型号及其校准状况; c) 目检点的位置;  d) 如要求的话,采用图像处理技术或有速度分布测量时,记录在照片或录像带上的各次测量图像或原始数据;  e) 气流目检报告应附有标明了所有仪器确切位置的平面图; f) 占用状态。