当前时间:
 
生物安全柜
超净工作台
集菌仪
微生物限度检查仪
激光尘埃粒子计数器
高效过滤器检漏仪器
过滤材料物理性能检测台
风量罩/风量仪
环境监测仪器
烟雾发生器
红外测温仪
空气过滤器
实验室专用设备
空气净化设备
洁净厂房安装工程技术服务
抗生素生物效价测定系列
手套泄漏检漏仪
称量罩
PM2.5/PM10粉尘连续测试仪
BOD/COD快速测定仪
药物不溶性微粒检测仪
计数器检漏仪系统
其他仪器
高效过滤器更换安装服务
工业纯水设备
医药纯化水设备
河水湖水净化设备
实验室超纯水机
民用纯水设备
中水回用处理设备
污水处理系统
废弃处理系统
各种耗材与药剂
温度验证
高效过滤器检漏/泄漏服务
洁净室第三方检测服务
马尔文微粒检测仪
过滤器完整性测试仪
德国莱宝真空泵油
管道漏风量测试仪
洁净室环境在线监测
激光粒度仪
第三方gsp温湿度验证服务
颗粒图像分析仪


 
 
新闻中心
无尘室的温湿度控制
点击次数:1118 发布时间:2016-08-22

 无尘车间的温湿度主要是根据加工工艺要求来确定,在满足加工工艺的条件下,应该考虑人的舒适感。随着空气洁净度要求的提高,工艺对温湿度的要求也越来越高,必须达到一定的温湿度等级。例如在大规模集成电路生产的光刻曝光工艺中,作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。直径100um的硅片,温度上升1度,就引起了0。24um线性膨胀,所以必须有±0。1度的恒温,同时要求湿度值一般较低,因为人出汗以后,对产品将有污染,特别是怕钠的半导体车间,这种车间不宜超过25度。湿度过高产生的问题更多。相对湿度超过55%时,冷却水管壁上会结露,如果发生在精密装置或电路中,就会引起各种事故。相对湿度在50%时易生锈。

 

  然而对于大部分洁净空间,为了防止外界污染侵入,需要保持内部的压力(静压)高于外部的压力(静压)。压力差的维持一般应符合以下原则:

  1、洁净度级别高的空间的压力要高于相邻的洁净度级别低的空间的压力。

  2、相通洁净室之间的门要开向洁净度级别高的房间。

  3、洁净空间的压力要高于非洁净空间的压力。

 

  压力差的维持依靠新风量,这个新风量要能补偿在这一压力差下从缝隙漏泄掉的风量。所以压力差的物理意义就是漏泄(或渗透)风量通过洁净室的各种缝隙时的阻力。

 

  对于乱流洁净室由于主要靠空气的稀释作用来减轻室内污染的程度,所以主要用换气次数这一概念,而不直接用速度的概念,不过对室内气流速度也有如下要求:

  1、送风口出口气流速度不宜太大,和单纯空调房间相比,要求速度衰减更快,扩散角度更大。

  2、吹过水平面的气流速度(例如侧送时回流速度)不宜太大,以免吹起表面微粒重返气流,而造成再污染,这一速度一般不宜大干0。2m/s。

  在我国,《空气洁净技术措施》和<洁净厂房设计规范))都是这样规定的

  垂直平行流(层流)洁净室≥0。25m/s

  水平平行流(层流)洁净室≥0。35m/s

 
苏州长留净化科技有限公司 2008版权所有 地址:苏州吴中经济开发区东方大道1210号 邮编:215000
电话:86-512-62387955/0512-66985755 传真:86-512-67064265 联系人:曾小姐
邮箱:changliu008@126.com
GoogleSitemap 管理登陆 ICP备:苏ICP备10216823号-1 技术支持:制药网