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无尘洁净室内洁净度主要因素-尘埃粒子计数器

发布时间:2019-05-10   点击次数:390次

无尘洁净室的气流速度/换气次数,一直是洁净室规划中遭到关注的问题,跟着洁净室污染源的操控作用添加及末级过滤器功率的提高,对有关规范、导则等提出的引荐或参考值是否偏于保存,已有不少讨论;FFU在应用中人们担心的噪音、损坏修理等问题已在实践中得到解决,跟着FFU的不断改进,对是否选用FFU回风体系也是个热门:悬浮分子污染(AMC)的操控在微电子及IC工业中已日益说到日程上来,遭到关注。以下对这些问题的状况分别作概括和剖析。

 

无尘洁净室内必定洁净度下气流速度的确定,随洁净室用处等具体状况而异,它不只受室内发尘量及过滤器功率还受其他要素影响,就工业洁净室而言,影响洁净度及挑选气流速度的要素主要是:

(1)室内污染源:建筑物组件、人员数量及操作活动、工艺设备、工艺材料及工艺加工自身等都是尘粒开释源,根据具体状况而异,改变很大;

(2)室内气流流型及分布:单向流要求均匀、对等的流线,但会遭到工艺设备安置和方位变化及人员活动状况等的干扰构成部分涡流;而非单向流要求充混合,防止温度分层。

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