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表面微粒检测仪

更新时间:2020-03-06

简要描述:

表面微粒检测仪(SPD)测量和控制表面微粒污染的---使得其变得更好。新一代的微粒检测仪涵盖了我们核心的表面测量技术能够分辨0.1微米的微粒并且大大增加了当今在洁净室中的使用。

型号:QIII厂商性质:生产厂家浏览量:268

产品能力再定义:

表面微粒检测仪(SPD)测量和控制表面微粒污染的---使得其变得更好。新一代的表面微粒检测仪涵盖了我们核心的表面测量技术能够分辨0.1微米的微粒并且大大增加了当今在洁净室中的使用。

随着高科技产业开始倾向于越来越小的几何体,工作更快,分辨率更高,产品更加复合化,表面微粒等级控制在0.1微米范围内,成为了产量和过程控制中的关键。

 

优点:

可预见的,每次的仪器首次恢复。

减少25-50%的恢复时间

减少50%+的颗粒数

减少干燥处理及晶圆测试

减少泵的清洗周期

提升MTBC至4X或者更多

提升10%+的工具可用性

减少PM周期时间

减少故障事件

符合ISO-14644-9表面粒子规范

 

新型QIII ULTAR SPD 包括:

HeNe激光光学0.1微米的分辨率

采用新型的静态采样模式提高测量精度

新型7寸高分辨率(WVGA)屏幕,显示清晰的图像和文字。

新式取样头插座设计,取样头更换,更轻易,便利

双电池插槽设计,可热抽换,新式智慧型锂电池设计

收集的资料现在可以被很容易的通过USB下载

通过USB接口,软件可直接被用户升级

6个粒径通道,增强粒子的区分的可视性

 

*时间PM自净

如何测量过程室的洁净度在PM期间?SPD可以大大减少PM自净时间,green-to-green时间,并且提高了fab的吞吐量,通过使用QIII SPD,你能直接的测量物体表面精确的0.1微米的微粒。用QIII SPD开始清洁的结果是,*时间复原所有尺寸的粒子个数,让经过处理过的工具有明显的效果。

 

绿色-到-绿色 时间?(所有PM时间,包括了自净时间)

降低了50%的自净时间

保持低的green-to-green时间

QIII SPD 按PM实施

 

MTBC增长

通过结合QIII SPD在PM进程中粒子控制,MTBC可以增长。

举例1.1:300mm介质工具

MTBC pre-QIII SPD: 174 rf hrs

MTBC post-QIII SPD: 300 rf hrs

ROI:3.6个月

 

举例2.

举例1.2:300mm金属工具

MTBC pre-QIII SPD: 40 rf hrs

MTBC post-QIII SPD: 110 rf hrs

ROI:0.6个月

 

产品技术资料

尺寸(DxH):14X23X9

重量:38 lbs

显示屏:WVGA 7寸触摸屏

GUI:Windows CE

传感器:HeNe 敏感达到0.1微米

输出:USB或者以太网

电源:100-240VAC,50/60HZ

电池:锂电池,可选电池充电器

 

 

探头的选择:

标准:1/2 直角,2 平角

查看探头说明书里的选项

可根据要求定制

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